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纳设智能研发第三代半导体制造设备,核心技术跻身“科创中国”先导技术榜

2025-04-10 07:58 来源:宝安湾

光明新闻记者 李军涛 通讯员 李晓梅 文/图 

 

2018年,公司正式成立并入驻光明区留学人员创业园;2020年,公司被评选为具有高成长性的“国家高新技术企业”;2022年,公司荣获深圳市“专精特新”中小企业认定;2024年,公司荣获国家级专精特新“小巨人”企业认定。公司自有第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延设备研发荣登“科创中国”先导技术榜单,并荣获深圳市集成电路产业协会的“最佳化合物半导体设备技术开发奖”,是完全自主创新的一款工艺指标优异、耗材成本低、维护频率低的碳化硅外延设备……在如此短时间内取得优异成绩的公司就是深圳市纳设智能装备股份有限公司(以下简称:纳设智能)。


▲创始人陈炳安

 

4月9日,记者采访了解到,纳设智能是一家以“致力成为全球先进材料制造设备引领者”为愿景,以“聚焦装备、推动革新、塑造未来”为使命,致力于第三代半导体、钙钛矿、碳纳米材料等先进材料制造设备研发及产业化的设备制造商。


截至目前,公司已申请专利突破100余项,已授权专利近50项。同时,公司自有的第三代半导体碳化硅外延设备研发技术荣登2020年“科创中国”先导技术榜单。此外,公司已认证ISO9001质量管理体系及ISO56001贯标体系。


▲钙钛矿原子层沉积设备

 

致力于第三代半导体等相关设备的研发及产业化


据了解,当下,在全球半导体行业的逆流中,第三代半导体正闪烁着独特的光芒,中国已经把大力发展第三代半导体,写入“十四五”规划中,在教育、科研、开发、融资、应用等各个方面助力发展第三代半导体,以期实现产业独立自主。以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体,凭借高频、高效、耐高压、耐高温、抗辐射等优越的性能脱颖而出,在新能源汽车、高速轨道交通、智能电网、工业互联网、通信传感等下游应用领域的拉动,逐渐进入产业化加速放量阶段。


纳设智能的创始人陈炳安曾经远赴英国帝国理工学院攻读材料科学与工程专业,并在剑桥大学通过全额奖学金拿到荣誉工程博士学位。在当时的国外半导体技术研究环境中,陈炳安有可能会获得更多的学习机会和资源,但他还是走上了归国创业这条道路。


陈炳安透露,在创业初期,他们首选的技术研究方向其实并不是第三代半导体,而是在当时占据前沿地位的先进材料石墨烯。尽管陈炳安有着独家的技术储备,但因产业化周期过长、市场需求不明朗等问题让项目一度陷入停滞,陈炳安也陷入了归国以来的第一个低谷期。


在当时,对于纳设智能而言,“转变发展方向”这一重大战略调整绝非易事。新方向意味着这一切都要从零起步,毕竟未知领域往往伴随着未知风险。然而,陈炳安怀揣着为国内填补相关缺口的坚定信念,加之对自身团队能力的充分信任,成功战胜了对未知风险的恐惧。在与企业并肩攻坚克难的历程中,他敏锐洞察到了纳设智能的未来走向——聚焦于第三代半导体等相关设备的研发及产业化。


陈炳安告诉记者,公司的创始团队由国际化合物半导体设备龙头企业唯一的华人高级科学家、数名剑桥大学博士和资深行业专家组成,团队在CVD(化学气相沉积)、MOCVD(金属有机化学气相沉积)、ETCH(刻蚀)等先进半导体制造设备领域具有平均超过15年的研发、生产、销售的经验,是少有的既懂设备开发技术,又懂半导体材料生长工艺的研发型团队。


选择入驻光明区留学人员创业园获得持续发展


为什么选择落户光明区?在企业发展过程中,光明区有哪些政策支持?


“当初决定回国创业的时候,是一个三无状态——没地、没钱、没人。”陈炳安表示,光明区给与多方面的支持,最终选择落户光明区。


首先,在场地方面,光明区帮忙解决了场地的问题。当时光明区领导亲自带看场地,看了很多场地,最终选址光明区留学人员创业园,非常符合当时的发展需要。后来,随着公司业务的不断发展,人员规模不断扩大,在光明区大力支持下,场地面积从920平方米扩增到现在近3000平方米。


其次,在资金方面,光明区也给予了很大支持,诸如入园补贴、融资奖励、研发费用资助、国高奖励、规上奖励、引才奖励等。


此外,光明区为公司引荐了多家高质量的银行、投资方。


顺应“天时地利人和”,陈炳安带领纳设智能于2018年10月入驻光明区留创园。


▲双腔碳化硅外延设备

 

经过6年持续发展,截至目前,纳设智能的碳化硅外延设备已经全面产业化,6英寸碳化硅外延设备已成功实现量产销售,8英寸单腔碳化硅外延设备已经推向市场并获得复购,另有8英寸全自动双腔碳化硅外延设备正在开发中,该设备将大大提升产能,为规模化量产提供了更优解决方案。2023年,受到“马斯克要在太空建立光伏站这一宏大构想”的启发,洞察到能源是推动人类发展与进步的核心要素,公司开始布局光伏钙钛矿方向的设备。目前,纳设智能自主研发的钙钛矿ALD设备,已成功获得产业内龙头客户的认可。


▲单腔碳化硅外延设备

 

付出总是会有回报。陈炳安告诉记者:“2023年,公司实现了盈亏平衡,净利润达到数千万元;2024年,公司获得了国家级专精特新‘小巨人’的荣誉。同时,公司已有设备顺利出海。”


多措并举积极应对

发展过程中的各种挑战


目前,纳设智能正处于业务快速扩张期,难免会遇到各种挑战,该如何应对?


“公司重点聚焦技术研发、市场渗透及全球化布局,同时为未来上市筹备奠定基础。”陈炳安表示,此阶段公司需同步解决规模化增长与合规性提升的双重需求,尤其在人才储备、资源整合及国际化进程中面临显著挑战。


针对新产品线研发、国际化及合规领域的高端人才缺口等方面的人才紧缺问题,公司将通过三方面化解。一是精准招聘:与专业猎头公司或高校合作定向引进人才;二是本地化培养:在目标市场设立分支机构,雇佣本土团队并开展技术培训;三是激励留人:采用股权激励、职业发展通道设计及跨文化培训提升员工归属感。


针对供应链稳定性差、供应商议价能力高、成本控制难度大等方面的上下游资源整合不足问题,公司将通过建立战略联盟,与核心供应商达成长期战略合作,以期共同成长。


重视“逆商”

为第三代半导体领域作出积极贡献


创业一路走来,如何理解创业的?什么是创业?如何评价自己和公司?


陈炳安在谈到自己的创业经历时,总会强调一个词:“逆商”。


在陈炳安看来,“逆商”远比情商更加重要。从科技研发到商业领域,从科研人员到企业的管理者,陈炳安的创业之路并非一帆风顺,“能承受多大的委屈和卑贱,将来就能有多大的成就”,当下的外部环境充满了不确定性,陈炳安在不断的攻坚克难中找到了理想与现实的平衡点。


创业至今,陈炳安凭借卓越的领导能力,牵头完成多款化学气相沉积(CVD)设备及原子层沉积(ALD)设备研发,包括第三代半导体碳化硅产业链中关键外延生长的碳化硅外延炉,补齐了我国在第三代半导体上游产业链关键设备环节的缺失。


可以说,陈炳安用留学之“智”和报国之志,推动了先进材料设备的创新升级,为第三代半导体领域作出了积极贡献。


公司未来有什么发展规划?


陈炳安表示,纳设智能还将持续投身于第三代半导体这一热门行业,聚焦先进材料装备制造,在碳化硅产业链继续深耕,通过不断的产品创新迭代助力我国第三代半导体行业的发展。同时,公司将开发更多ALD机型,适配更多应用领域,如目前的钙钛矿等。


 

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